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- PDF资料,SMC大流量型3通电磁阀V114A-5LOUB
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PDF资料,SMC大流量型3通电磁阀V114A-5LOUB
产品特点:
【无需真空破坏阀】
通过无正压的真空脱离,无需采取措施防止小芯片被吹走。
无需繁琐地调整破坏压力、流量及定时。
不使用真空破坏阀,实现了精简化。
【占用空间小化】
与以往的带破坏单元相比,安装面积减少44%,重量减少53%,适用于制造装置的小型化。
即使在小空间也可安装,装置设计的自由度更高。
通过轻量化,便于安装在装置可动部。
【可配备压力传感器】
单元中配备真空用压力传感器,外形更小巧。
负压检测也实现省空间。
采用U形卡销固定压力传感器,提高可维护性。
【可安装真空用过滤器】
配管过程中无需安装过滤器。
真空用过滤器采用快插式更换。
主阀中没有滑动密封圈,因此可禁油处理(特注品)。不向外部排气。
高速下响应稳定。
真空可使用。
对应0603芯片 。
响应速度:13msec (500mm 时※)/18.5msec (1000mm 时※)
无需调即可使工件平稳脱落。
不需要调整真空?正压切换时间。
不需要破坏空气的节流回路。
低功率型 (2W DC 低功率型)
压力从0MPa起可以使用。
可混合安装VK300。
直动式电磁阀。
主阀结构为间隙密封方式。
压力从0MPa起可以使用。
可供给不同压力。
PDF资料,SMC大流量型3通电磁阀V114A-5LOUB